↓↓↓文章末尾获取原文链接↓↓↓
本文2278字，阅读约需7分钟
摘 要：本研究将用于平面形状高精度测量的SDP（扫描差动测角法）扩展到曲面上，引入可自动校正误差的高精度角度测量技术（SelfA），从而能够通过测量曲面镜的局部角度分布，以2纳米精度非接触地测量绝对形状。
关键词：曲面镜、绝对形状、EUV光刻、非接触式测量、纳米精度
要点
通过测量曲面镜的局部角度分布，能够以2纳米精度非接触地测量绝对形状
利用可自动校正误差的高精度角度测量技术（SelfA），可以在大范围内高精度地测量局部角度
为EUV光刻设备及同步辐射设施等所用的超高精度光学元件的制造、开发与评估做出贡献
