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摘 要：研究团队将飞秒激光诱导周期性表面结构（fs-LIPSS）应用于硅薄膜表面，证实了与传统方法相比，能够极快地形成周期性结构，制作速度是传统方法的约1000 倍以上。
关键词：半导体、热管理、飞秒激光、声子纳米结构、硅薄膜
要点
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制作具有导热控制特性的声子纳米结构，速度比传统方法快 1000 倍以上。
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通过热反射率法和蒙特卡罗模拟，阐明了结构内部的热传导机制。
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有望实现高性能、节能的电子设备和量子器件。
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