#ORC制作所 #光掩模 #直接曝光 #微细镀铜布线 #先进封装
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#金刚石半导体 #晶圆 #衬底 #1英寸 #马赛克晶圆
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#播磨化成 #离型膜 #半导体 #后工序 #无氟
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#玻璃基板 #微孔 #KrF准分子激光器 #深紫外区域DOE #中介层
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#半导体 #玻璃基板 #日本Achilles #聚吡咯电镀法 #高附着性镀层
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#碳化硅 #石墨坩埚 #碳化钽涂层 #抑制粘附 #重复利用
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#绝缘栅双极晶体管（IGBT） #PPA #绝缘性 #鲁棒性 #高热稳定性
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#自支撑衬底 #大尺寸 #低阻衬底 #外延 #高硼浓度
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