↓↓↓文章末尾获取原文链接↓↓↓
一种利用电子所具有的电学性质(电荷)和磁学性质(自旋)来创造新功能的新型半导体技术被称为“自旋电子学”,目前其学术基础研究和应用研究正在积极推进。在自旋电子学的社会应用中,核心技术是一种被称为“磁隧道结”的固态元件。利用该元件所具备的信息存储和磁传感功能,可以开发出低功耗存储器、大容量存储器以及高性能磁传感器等产品。通过这些技术的社会应用,实现IT云计算的节能化和高性能化。
磁隧道结(Magnetic Tunnel Junction,MTJ)的基本结构是一层极薄的绝缘膜(隧道势垒)夹在两层铁磁金属之间。通常情况下,电流无法通过绝缘体,但当绝缘膜的厚度减薄至1–2nm时,由于量子力学的隧穿效应,会产生一种特殊的电流(隧道电流)。
当两层铁磁金属的磁体取向平行(P态)时,MTJ元件的电阻(RP)较低,允许较大的电流通过;相反,当磁体取向反平行(AP态)时,MTJ元件的电阻(RAP)相对较高,电流会减小。这一现象被称为隧道磁阻(Tunnel Magneto-Resistance,TMR)效应。
MTJ元件电阻的变化率(MR比)是器件应用性能的重要指标。由于MR比越大,就可以开发更高性能的器件,因此,至今自旋电子学领域的发展一直伴随着MR比的提高。
磁隧道结(MTJ)的结构和机制、MR比的定义
当MTJ元件中的一个磁体的方向固定,而另一个磁体的方向因外部场(例如磁场)而改变时,由于电阻随磁场变化,因此MTJ元件可用作磁传感器。此外,当P和AP状态分别对应于“0”和“1”时,MTJ元件充当存储1位信息的存储元件。通过将多个MTJ元件排列成阵列来存储信息的存储器被称为MRAM(磁阻随机存取存储器),其是一种即使断电,也能保留存储信息的非易失性存储器。
为了将MTJ元件应用于磁传感器或MRAM,需要在室温且低磁场下实现较大的MR比。1995年,一种以非晶态氧化铝(Al-O)为隧道势垒材料的MTJ元件被开发出来,随后经过约10年的全球范围研发,实现了百分之几十的MR比。
采用非晶态Al-O的MTJ元件的硬盘(HDD
