↓↓↓文章末尾获取原文链接↓↓↓

日本理音株式会社基于产业技术综合研究所（以下简称“产综研”）和铠侠株式会社联合开发的使用流场粒子追踪法（Flow Particle Tracking：FPT、以下简称“FPT法”）的“流场中粒子特性估算方法”，于2026年4月10日发售了全球首款“流体动力学液体粒子计数器PT-01F”。

本产品以理音长期积累的光散射技术为基础，通过利用新开发的FPT法，实现了对流场中微粒的尺寸、数量及折射率的测量。这是一种新型微粒测量装置，由传统的根据光散射的等效直径来测量粒子数浓度分布的光散射型液体粒子计数器（以下简称“LPC”）发展而来。

该产品通过追踪和分析粒子的布朗运动，根据扩散系数计算接近几何尺寸的粒子直径，同时利用同一粒子的散射光强度估算折射率，从而支持对粒子特性的评估。这将有助于先进半导体制造工艺中超纯水、药液的质量管理，以及良率降低的原因调查。

流体动力学液体粒子计数器PT-01F

开发背景

近年来，在半导体制造工艺中的超纯水及药液管线的粒子管理中，为了提高产量和运行效率，了解液体中微粒的尺寸和数量、以及气泡、氟树脂和金属等成分信息，有助于快速识别和改进缺陷及生产设备故障的原因，并且市场对这类信息的需求也在日益增长。在选择粒子收集过滤器时，能够掌握接近几何尺寸的粒子直径至关重要，市场同样对此有强烈需求。此外，市场还需要能够实时测量这些信息的设备。

主要特点

本产品凭借以下特点支持粒子管理。这些特点不仅能改善产量，还有望提高故障原因的分析速度，缩短生产设备的启动时间。

由于可在流场中追踪和分析布朗运动，因此可进行在线实时测量。
通过同时测量基于几何直径的粒子数量浓度分布和粒子折射率，可以获得用于评估接近粒子的几何尺寸的粒径以及估算其物理性质的信息。
以折射率为纵轴、粒径为横轴的粒子频率分布以折射率图的形式表示出来。

可测量粒径为30nm至100nm（用于纯水中校准的标准粒子）且折射率为1.0至2.6（用于不吸收光的粒子）的粒子。
实时显示测量结果，可即时做出判断。
由于液体接触部件采用耐化学药品性材料，可测量多种化学药液。

主要用途

半导体制造工艺中超纯水、药液的粒子管理
清洗工艺（晶圆·零部件）的评估

https://www.rion.co.jp/news/2026/04/news-260403.html

世界首款“基于流体动力学的液体粒子计数器 PT-01F”发布——估算流场中粒子物理特性的方法商业化