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摘要：日本理化学研究所等通过对p型半导体侧应用极化掺杂技术，提高了空穴浓度，开发出波长为230nm，且输出功率显着提高至最大3.2mW的远紫外LED。利用波长被认为对人体无害的LED，有望应用于医疗预防和检测以及环境卫生等领域。

关键词：远紫外光LED、高功率、半导体、空穴、极化掺杂

在2019年开始的一项旨在开发高效灭活病毒的同时，将对人体影响降至最低的远紫外LED的联合研究中，日本理化学研究所（理研）和日本钨株式会社开发了一种波长为230nm的远紫外LED光源，并成功开发出集成了该光源的高功率光源模块。

图1.波长为230nm的LED封装和高功率光源模块示例

传统上，紫外线具有灭活病毒的作用，因此用于空气净化和水净化。然而，常用的深紫外光波长为265nm〜280nm，被认为对人体有害，因此其使用一直局限于无人的空间。

对此，近年来，被认为对人体无害的波长为220nm～230nm的紫外光（Far-UVC）引起了人们的关注。普遍认为。波长为265nm〜280nm的紫外光的波长接近DNA的吸收光谱，可以穿过皮肤和角膜，因此对人体有害。

据称波长为230nm的远紫外线大部分会被皮肤和角膜表面吸收，因此不太可能损伤细胞，同时，由于病毒比人体细胞小得多，因此其仍对病毒具有灭活作用。

远紫外LED使用了具有较高铝浓度成分的AlGaN（氮化铝镓）半导体，因此远紫外LED发射的光比深紫外LED发射的光的波长更短。使用这种半导体导致的问题是，在p型半导体组合物中，作为掺杂物质的Mg的固溶度极限会降低，无法提高空穴浓度，从而无法提高输出功率。

图2.搭载多个集成波长为230nm的LED的210mW光源模块

研究小组表示，未来利用波长被认为对人体无害的LED，有望应用于医疗预防和检测以及环境卫生等领域。

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一种高功率远紫外LED及模块