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摘 要：氮化镓功率半导体是电动汽车和碳中和不可或缺的新一代技术，日本丰田合成株式会社宣布，已开始试生产GaN籽晶，以抢占氮化镓功率半导体市场。
关键字：功率半导体、氮化镓、GaN籽晶、大型炉、半导体器件
日本丰田合成株式会社（以下简称“丰田合成”）为抢占氮化镓（GaN）功率半导体市场，开始试生产GaN籽晶（具有和所需晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的种子,也叫晶种）。丰田合成的大型炉已经实现了高质量GaN晶体的生长，同时制作6英寸和8英寸的大直径籽晶，确保足够量产的籽晶数量。
丰田合成的晶体生长设备（大型炉）