日本EDP公司从4月24日开始发售1英寸金刚石单晶晶圆。
图:1英寸金刚石单晶晶圆(25mmΦ×0.3mm)
该公司致力于生产大型金刚石单晶,适用于种晶、衬底及光学部件等领域,今年2月还发售了全球最大级的30×30mm单晶衬底。
此次发售的是1英寸金刚石单晶晶圆(厚度为25mmΦ×0.3mm;厚度可选:0.05 ~ 1mm))。其面积是已经产品化的半英寸(直径12.5mm)晶圆的4倍,根据金刚石器件的形状,制作的器件数量将大幅增加。
由此,在同时制作多个金刚石器件时,能够评价良率和质量偏差等,加速实用器件的开发。
另外,对于利用金刚石最高导热率特性的散热器,也可以采用大型衬底,以现有工艺技术进行加工,通过降低制作成本,有望扩大其适用范围。
随着2月份公布的30×30mm大型金刚石单晶衬底的上市,该公司不仅将这种大型金刚石单晶用于1英寸晶圆,还计划通过将4个这样的晶圆拼接成马赛克晶圆来获得50×50mm以上的尺寸。
之后计划开发2英寸(直径50mm)马赛克晶圆,争取在今年12月底前上市。如果2英寸马赛克晶圆能够实现产品化,可实际应用于半导体生产工艺中的各种工艺设备。
在半导体器件的开发中,掌握产品良率以及批次间偏差非常重要,通过使用已经确立的工艺设备进行评价,实现功率器件等金刚石半导体器件的可能性将得到提高。
另外,在散热器、放射线等各