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摘要：研究小组开发出了使用合金的具有新型结构的等离子体肖特基器件，成功地提高了应对光通信和护眼波长的近红外区域的光电转换效率。

关键词：等离子体肖特基器件、光电转换效率、纳米合金、近红外区域、肖特基屏障

研究小组开发出了使用合金的具有新型结构的等离子体肖特基器件，成功地提高了应对光通信和护眼波长的近红外区域的光电转换效率。

等离子体肖特基器件是一种光电转换器件，原理是利用在金属和半导体的界面上形成的能量屏障（肖特基屏障），作为能够扩展以Si为首的半导体可利用波长区域的技术。等离子体肖特基器件备受关注。

本研究通过使用合金来控制肖特基屏障的高度，实现了光电转换效率的提高。此外，还开发了通过电弧等离子蒸镀，仅用一分钟就能在Si基板上制作出等离子体纳米结构的方法，并明确了利用该方法所形成的理想合金和半导体的接合界面可以实现高效的电子转移。不仅限于光检测器，该技术还有望应用于太阳能电池和光催化等领域。

通过电弧等离子蒸镀制作的硅基合金等离子体肖特基器件的结构

研究者评论

“在此前与Si基等离子体肖特基器件相关的研究中，主要研究课题是通过金属纳米结构的设计，实现控制等离子体的吸收控制；而在本研究中，我们将重点放在了肖特基屏障上，验证了合金对肖特基屏障的控制以及光电转换效率的提高。目前正致力于将这种新方法拓展到各种各样的应用中，在提高性能的同时，创造新的应用案例。”

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一分钟制作出等离子体纳米合金——用于提高近红外区域的光电转换效率