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摘 要:研究小组开发出了使用合金的具有新型结构的等离子体肖特基器件,成功地提高了应对光通信和护眼波长的近红外区域的光电转换效率。
关键词:等离子体肖特基器件、光电转换效率、纳米合金、近红外区域、肖特基屏障
研究小组开发出了使用合金的具有新型结构的等离子体肖特基器件,成功地提高了应对光通信和护眼波长的近红外区域的光电转换效率。
等离子体肖特基器件是一种光电转换器件,原理是利用在金属和半导体的界面上形成的能量屏障(肖特基屏障),作为能够扩展以Si为首的半导体可利用波长区域的技术。等离子体肖特基器件备受关注。
本研究通过使用合金来控制肖特基屏障的高度,实现了光电转换效率的提高。此外,还开发了通过电弧等离子蒸镀,仅用一分钟就能在Si基板上制作出等离子体纳米结构的方法,并明确了利用该方法所形成的理想合金和半导体的接合界面可以实现高效的电子转移。不仅限于光检测器,该技术还有望应用于太阳能电池和光催化等领域。