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摘 要：日本株式会社EDP成功增大了高硼浓度金刚石衬底的尺寸，推出大尺寸低阻衬底产品，将推动大型器件的试制和测试。
关键词：自支撑衬底、大尺寸、低阻衬底、外延、高硼浓度
日本株式会社EDP成功增大了高硼浓度金刚石衬底的尺寸，推出大尺寸低阻衬底——10×10×0.2mm双面抛光“RB10102PP”，以及低阻最小晶圆“RB13R2PP”。它是一种尺寸为7x7mm或更大的高浓度硼掺杂·低阻的大型自支撑衬底，与该公司的低阻金刚石衬底具有相同的基本特性。
基于2023年8月商品化的高浓度硼掺杂外延层（单晶层）衬底的技术开发经验，该公司成功增加了高硼浓度金刚石低阻衬底的尺寸。