在二维半导体的直接生长晶圆上实现晶体管功能，无需转印工艺

#二维半导体 #干式界面控制 #H2/Ar退火 #晶体管 #转印

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#晶体管 #量子计算机 #量子位控制 #集成电路 #噪声源

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利用原子层沉积法开发纳米片氧化物半导体晶体管

#晶体管 #氧化物半导体 #原子层堆积法 #集成化 #InGaO（IGO）纳米薄膜

3 years ago 751

通过改良微波炉，开发出用于制造下一代高密度半导体的退火装置

#晶体管 #高密度半导体退火装置 #微波炉 #加热处理 #半导体制造 #半导体器件

4 years ago 994